更新时间：2026-07-16 14:40:07
求解答，词语「快速热退火」是什么意思？再说说快速热退火有什么含义？
快速—热退火( RTA) 是半导体加工工艺中的一种常规技术手段，一般用来激活半导体材料中的掺杂元素和将由离子注入造成的非晶结构恢复为完整晶格结构。
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