更新时间：2026-07-10 05:44:46
求解答，词语「对准精度」是什么意思？再说说对准精度有什么含义？
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。
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