更新时间：2026-07-10 10:53:20
求解答，词语「投影透镜」是什么意思？再说说投影透镜有什么含义？
投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。
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