更新时间：2026-07-14 21:08:44
求解答，词语「磁控溅射法」是什么意思？再说说磁控溅射法有什么含义？
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。
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