更新时间：2026-07-10 10:19:38
求解答，词语「离子铣」是什么意思？再说说离子铣有什么含义？
离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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